2024年10月9日，市场监管总局正式发布了三项具有里程碑意义的国家一级标准物质——二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质以及一维硅纳米光栅标准物质。这一消息的发布，标志着我国在纳米测量技术领域取得了重大突破，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等多个领域的纳米制造提供了精准的“标尺”。

突破性的技术成就

这三项标准物质的研制，不仅满足了纳米制造产业对于角度和长度校准的迫切需求，更在技术上实现了质的飞跃。特别是二维铬纳米栅格标准物质，其制备过程采用了分步沉积原子光刻技术，这一技术的突破使得标准物质的制备难度大大增加，但同时也带来了前所未有的测量准确性。该标准物质的角度绝对准确性达到了0.001°量级，这相当于将一个蛋糕按扇形均分成三十六万份，其精确度之高可见一斑。

广泛的应用前景

二维铬纳米栅格标准物质的结构面积一般为300μm×300μm，且在没有划伤或破坏的情况下，每次使用2μm×2μm的测量区域，可重复使用次数高达20000次以上。这一特性使得它成为了晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准的理想选择。同时，它还可以应用于超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准，为纳米测量领域的广泛应用提供了强有力的支持。

扁平化计量与误差控制

纳米级角度标准物质的研制成功，不仅提升了我国纳米测量的技术水平，更实现了纳米测量领域的扁平化计量。传统的逐级量值传递方式容易在传递过程中造成误差放大，而纳米级角度标准物质则能够通过在线校准直接将高精度计量数据传递到企业计量现场，从而有效避免了这一问题。这一创新不仅提高了测量的准确性和可靠性，更为我国纳米制造产业的高质量发展提供了有力支撑。

推动产业升级与发展

此次发布的纳米级角度国家一级标准物质，是我国纳米测量技术领域的一次重大突破，也是我国推动产业升级和发展的重要举措。随着这些标准物质的广泛应用，我国纳米制造产业将迎来更加广阔的发展前景。同时，这也将进一步提升我国在国际纳米测量技术领域的话语权和影响力，为我国在全球科技竞争中占据有利地位提供有力保障。

结语

纳米测量技术的突破和创新是推动我国纳米制造产业高质量发展的重要支撑。此次发布的纳米级角度国家一级标准物质，不仅标志着我国在纳米测量技术领域取得了重大成果，更为我国纳米制造产业的未来发展奠定了坚实基础。我们有理由相信，在不久的将来，我国将在纳米制造领域取得更加辉煌的成就。

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